BASF Exactus® 系列测温仪EX-C-7FL，红外测温仪测温范围100-1800℃，精度高达1.5℃, 重复性0.1℃。适用于AIXTON G3, G4， G5以及国内设备厂MOCVD的蓝宝石光管红外测温系统

XACTUS®提供：

使用短波长进行低温测量（25°C 或更高）

使用 200nm 红外辐射测量低至 900°C 的单晶硅

精度高，分辨率高达0.001°C，精度高达1.5°C

速度高达每秒 1，000 个读数

在任何给定波长下具有宽动态范围

测温重复性 0.1 oC , 温漂不高于 0.1 oC

精密度高, 分辨率达 0.01 oC , 测温精度1.5 oC

典型应用

硅晶生长	薄膜沉积
激光/感应焊接	玻璃加工
工业加热